更改

华为已申请光刻设备和光刻系统专利，四年前已开始部署光刻机

删除29字节, 2020年7月25日 (六) 22:05

无编辑摘要

光刻机设备的某种专利

 

主要专利内容如下图

主要意思就是为了提高光刻的精确度

• ←上一编辑

明华

管理员

23,882

个编辑